发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05315300(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920120774 申请日期 1992.05.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KURODA YASUYUKI
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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