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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05315300(A)
申请公布日期
1993.11.26
申请号
JP19920120774
申请日期
1992.05.13
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KURODA YASUYUKI
分类号
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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