发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05312910(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920118771 申请日期 1992.05.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSAKI AKIO;NAKAJO TOKUO;HAYASHI YOSHIHIKO
分类号 G01R31/28;G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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