| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR DECIDING END POINT OF ETCHING |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05315317(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19920143529 |
申请日期 |
1992.05.08 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
SAKURAI TAKEHISA;UJIMASA HITOSHI;KAJITANI MASARU;OKAMOTO MASAYA;KATAYAMA MIKIO;NAKAZAWA KIYOSHI |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F4/00;G02F1/13;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
