| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05315238(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19920120993 |
申请日期 |
1992.05.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;SIGMA MERUTETSUKU KK |
发明人 |
KANEMITSU HIDEYUKI;HOSHINO EIICHI;SUMI KAZUHIKO;KANDA KAORU |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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