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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0588142(U)	申请公布日期	1993.11.26
申请号	JP19920025621U	申请日期	1992.04.21
申请人		发明人
分类号	G01K7/02;H01L23/58;H02H5/04;(IPC1-7):H02H5/04	主分类号	G01K7/02
代理机构		代理人
主权项
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