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经营范围
发明名称
ALIGNER
摘要
申请公布号
JPH05315246(A)
申请公布日期
1993.11.26
申请号
JP19920114752
申请日期
1992.05.07
申请人
SONY CORP
发明人
YABUTA MITSUO
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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