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发明名称 VACUUM PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH05315254(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920121817 申请日期 1992.05.14
申请人 HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 MIYAUCHI AKIHIRO;MISAWA YUTAKA;SUZUKI TAKAYA;OZAWA MAKOTO;IKEDA FUMIHIDE
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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