| 发明名称 |
MANUFACTURE OF POLYCRYSTALLINE SILICON FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05315259(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19910196780 |
申请日期 |
1991.08.06 |
| 申请人 |
TONEN CORP |
发明人 |
OKAYASU YOSHINORI;KITANO MASANORI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L31/0392;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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