| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05315294(A) |
申请公布日期 |
1993.11.26 |
| 申请号 |
JP19920144796 |
申请日期 |
1992.05.11 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KOGA RYUJI;YAMAGUCHI TORU |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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