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发明名称 MICROWAVE ANTENNA FOR ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05314918(A) 申请公布日期 1993.11.26
申请号 JP19920148228 申请日期 1992.05.13
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 MAENO SHUICHI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01J27/18;H01J37/08;H01L21/265;H05H1/46;(IPC1-7):H01J27/18 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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