| 发明名称 |
Blende zur Vermeidung der Beschichtung von Vorrichtungsteilen und/oder Substratpartien während des Beschichtungsprozesses in der Vakuumkammer einer Sputteranlage |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE9313120(U1) |
申请公布日期 |
1993.11.25 |
| 申请号 |
DE19930013120U |
申请日期 |
1993.09.01 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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