Eingangsverteiler und Verfahren zur Steigerung der Gasdissoziation und zur PECVD von dielektrischen Filmen.
摘要
申请公布号
DE3885034(D1)
申请公布日期
1993.11.25
申请号
DE19883885034
申请日期
1988.08.12
申请人
APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US
发明人
CHANG, MEI, CUPERTINO, CA 95014, US;WHITE, JOHN M., HAYWARD, CA 94541, US;WANG, DAVID NIN-KOU, CUPERTINO, CA 95014, US;MAYDAN, DAN, LOS ALTOS HILLS, CA 94022, US
