发明名称 Pump stage for a high vacuum pump.
摘要
申请公布号 EP0363503(B1) 申请公布日期 1993.11.24
申请号 EP19880116749 申请日期 1988.10.10
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KABELITZ, HANS-PETER, DR.;KAISER, WINFRIED;STUEBER, HANS-GUENTER, DR.
分类号 F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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