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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING INSULATING FILM ON SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR CARRYING OUT THE SAME
摘要
申请公布号 EP0560617(A3) 申请公布日期 1993.11.24
申请号 EP19930301879 申请日期 1993.03.12
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 SATO, NOBUYOSHI;OHTA, TOMOHIRO;NAKANO, TADASHI;YAMAMOTO, HIROSHI
分类号 C23C16/02;C23C16/40;H01L21/00;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/312;H01L21/314 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
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