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发明名称 INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05312561(A) 申请公布日期 1993.11.22
申请号 JP19920114924 申请日期 1992.05.07
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KAJIMURA HIROSHI
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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