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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号 JPH05311430(A) 申请公布日期 1993.11.22
申请号 JP19920116481 申请日期 1992.05.11
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KONDO KENJI
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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