| 发明名称 |
SPUTTERING TARGET FOR FORMING THIN METAL FILM AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05311424(A) |
申请公布日期 |
1993.11.22 |
| 申请号 |
JP19920118953 |
申请日期 |
1992.05.12 |
| 申请人 |
DOWA MINING CO LTD |
发明人 |
FUJIWARA SATOSHI;SHIMIZU EIJI;NISHINO ISAMU;NAGATA CHOJU |
| 分类号 |
C22C9/00;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C22C9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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