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经营范围
发明名称
THIN FILM SYNTHESIZING ARC JET DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05311383(A)
申请公布日期
1993.11.22
申请号
JP19920143506
申请日期
1992.05.08
申请人
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD
发明人
UEMATSU KAZUO;YAMAGUCHI HIROMI
分类号
C23C4/00;(IPC1-7):C23C4/00
主分类号
C23C4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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