| 发明名称 |
PLASMA CVD METHOD AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05311447(A) |
申请公布日期 |
1993.11.22 |
| 申请号 |
JP19920113336 |
申请日期 |
1992.05.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
MURATA MASAYOSHI;TAKEUCHI YOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C16/50;C30B25/02;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
