| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING VIA HOLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05312552(A) |
申请公布日期 |
1993.11.22 |
| 申请号 |
JP19920117057 |
申请日期 |
1992.05.11 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SAKASHITA YORIHIRO;ANDO MORITOSHI;OKA KOJI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/28;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/28 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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