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发明名称 PLASMA VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05306468(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19920111226 申请日期 1992.04.30
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 OKAMURA MIKIO
分类号 C23C16/50;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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