发明名称 Verfahren zur Herstellung von Duennfilm-Schaltvorrichtungen
摘要
申请公布号 DE1590682(A1) 申请公布日期 1970.06.25
申请号 DE1965T029795 申请日期 1965.11.15
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 TED PIERCE,JOE;PAUL PRITCHARD JUN.,JOHN
分类号 C23C14/02;G03F7/40;G11C11/44;H01B3/30;H01L39/00;H01L39/24;H01L49/02;H05K3/00 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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