| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING THICKNESS OF MONOCRYSTALLINE THIN FILM IN SOI SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05308096(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920137718 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
OTA YUTAKA;YOSHIZAWA KATSUO;NAKANO MASATAKE;KATAYAMA MASAYASU |
| 分类号 |
G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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