| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON OXIDE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05308071(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920155559 |
申请日期 |
1992.04.30 |
| 申请人 |
KOJUNDO CHEM LAB CO LTD |
发明人 |
HOCHIDO YUKO;FUTAKI TAKEHIKO |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
