发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05308050(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19920112473 申请日期 1992.05.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGIMOTO FUMITOSHI;TSUCHIYA SHINPEI;KIYOKAWA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/8234;H01L21/027;H01L21/336;H01L27/088;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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