发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SYNTHESIZING DIAMOND FILM
摘要
申请公布号 JPH05306192(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19920113852 申请日期 1992.05.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KURIHARA KAZUAKI
分类号 C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
地址