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发明名称 WAFER POSITIONING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05308098(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19910087526 申请日期 1991.03.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 OSAWA SATORU;ASAKAWA TERUO;NEBUKA KENJI;ONO HIROO
分类号 H01L21/677;B25J9/10;B65G49/07;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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