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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05308072(A) 申请公布日期 1993.11.19
申请号 JP19920136234 申请日期 1992.04.28
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAKAWA HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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