| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05306190(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920140166 |
申请日期 |
1992.04.30 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
SAKURADA MASAHIRO;UESUGI TOSHIHARU;FURUSE SHINICHI |
| 分类号 |
C30B27/02;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B27/02 |
主分类号 |
C30B27/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
