| 发明名称 |
DRY ETCHING METHOD FOR PARALLEL FLAT PLATE TYPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05306478(A) |
申请公布日期 |
1993.11.19 |
| 申请号 |
JP19920003191 |
申请日期 |
1992.01.10 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
UJIMASA HITOSHI;KATAYAMA MIKIO;MIYANOCHI MAKOTO;SAKURAI TAKEHISA |
| 分类号 |
C23C4/00;C23F4/00;G09F9/30;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23C4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
