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发明名称 Methode zur Bewertung der Übergangszone einer epitaktischen Siliziumscheibe.
摘要
申请公布号 DE68908102(T2) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 DE19896008102T 申请日期 1989.11.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIKI, KATSUHIKO, ANNAKA-SHI GUNNA-KEN, JP
分类号 C30B29/06;C30B25/02;C30B33/00;G02B6/13;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
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