发明名称 PROCESS FOR MAKING SILICON NITRIDE ARTICLES
摘要
申请公布号 EP0540683(A4) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 EP19910915408 申请日期 1991.07.23
申请人 EATON CORPORATION 发明人 EDLER, JAMES, P.;LISOWSKY, BOHDAN
分类号 C01B21/068;C04B35/591;(IPC1-7):C04B35/58 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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