| 发明名称 |
ASHING METHOD OF ORGANIC LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR930010980(B1) |
申请公布日期 |
1993.11.18 |
| 申请号 |
KR19900003143 |
申请日期 |
1990.03.09 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD. |
发明人 |
FUJIMURA, SHUJO;HIGAZUDANI, GENICHI |
| 分类号 |
H01L21/302;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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