摘要 |
Un dispositif manométrique comporte une structure de capteur de pression ayant une capacité de mesure dépandant de la pression, une capacité de référence indépendante de la pression, et un circuit d'évaluation déduisant la pression par mesure de capacité. Pour réduire l'écart de linéarité dans le dispositif manométrique selon l'invention, l'autre capacité est formée par une autre électrode (138) associée à la membrane de la structure de capteur de pression en tant que capacité dépendant de la pression. L'électrode de mesure (118) et l'autre électrode ont chacune une étendue angulaire variant en sens inverse en fonction du rayon, la fonction de transmission du circuit d'évaluation étant proportionnelle à la différence de la capacité de mesure (Cs1) et de la capacité de référence constante (Cr1) et inversement proportionnelle à l'autre capacité dépendant de la pression (Cf1) |