发明名称 CAPACITIVE MANOMETER WITH A HIGHLY LINEAR RESPONSE.
摘要 Un dispositif manométrique comporte une structure de capteur de pression ayant une capacité de mesure dépandant de la pression, une capacité de référence indépendante de la pression, et un circuit d'évaluation déduisant la pression par mesure de capacité. Pour réduire l'écart de linéarité dans le dispositif manométrique selon l'invention, l'autre capacité est formée par une autre électrode (138) associée à la membrane de la structure de capteur de pression en tant que capacité dépendant de la pression. L'électrode de mesure (118) et l'autre électrode ont chacune une étendue angulaire variant en sens inverse en fonction du rayon, la fonction de transmission du circuit d'évaluation étant proportionnelle à la différence de la capacité de mesure (Cs1) et de la capacité de référence constante (Cr1) et inversement proportionnelle à l'autre capacité dépendant de la pression (Cf1)
申请公布号 EP0569573(A1) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 EP19920923790 申请日期 1992.11.25
申请人 ENDRESS + HAUSER GMBH & CO. 发明人 BENZEL, HUBERT
分类号 G01L9/00;G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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