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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der reaktiven Schichtabscheidung auf Substraten mittels Magnetronkatoden.
摘要
申请公布号 DE3884831(D1) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 DE19883884831 申请日期 1988.03.04
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 THOMAS, FRIEDRICH-WERNER, DIPL.-ING.DR., D-6460 GELNHAUSEN, DE;WIRZ, PETER, DIPL.-PHYS.DR., D-6296 WALDERNBACH, DE
分类号 C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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