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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines Doppeltiegels aus Quarz und Verfahren zur Herstellung eines monokristallinen Siliziumstabes.
摘要
申请公布号
DE3881561(T2)
申请公布日期
1993.11.18
申请号
DE19883881561T
申请日期
1988.03.15
申请人
MITSUBISHI MATERIALS CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KIDA, MICHIO, URAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP;SAHIRA, KENSHO, YONO-SHI SAITAMA-KEN, JP
分类号
C03B20/00;C03B23/207;C30B15/12;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/12
主分类号
C03B20/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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