发明名称 Vorrichtung zur Reinigung von Abgasen aus CVD-Prozessen.
摘要
申请公布号 DE58905880(D1) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 DE19895005880 申请日期 1989.06.15
申请人 CENTROTHERM ELEKTRISCHE ANLAGEN GMBH + CO, 89143 BLAUBEUREN, DE 发明人 KROEDEL, GUNTER, DIPL.-ING., O-8080 DRESDEN, DE;FABIAN, LUTZ, DR. RER. NAT., O-8020 DRESDEN, DE;MOELLER, RAINER, DR.-ING., O-8023 DRESDEN, DE;STELZER, HORST, DIPL.-CHEM., O-8080 DRESDEN, DE;GILDEMEISTER, FRANK, O-8080 DRESDEN, DE
分类号 B01D53/34;B01D53/46;F23G7/06;(IPC1-7):F23G7/06 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
主权项
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