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发明名称 Verfahren zur Steuerung der Sauerstoffkonzentration von Siliciumeinkristallen
摘要
申请公布号 DE3239570(C2) 申请公布日期 1993.11.18
申请号 DE19823239570 申请日期 1982.10.26
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SUZUKI, TOSHIHIKO, ATSUGI, KANAGAWA, JP;SATO, TOMIO, ATSUGI, KANAGAWA, JP;KATO, YASABURO, ATSUGI, KANAGAWA, JP
分类号 C30B15/00;C30B15/30;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20;C30B29/06 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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