| 发明名称 |
Apparatus for loading semi-conductor wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2266992(A) |
申请公布日期 |
1993.11.17 |
| 申请号 |
GB19920009727 |
申请日期 |
1992.05.06 |
| 申请人 |
* SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED |
发明人 |
CARL DAVID MONNINGTON * BRANCHER |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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