| 发明名称 |
TWO WAVE LENGTH INTERFERENCE LENGTH MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05302809(A) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
JP19920109870 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
TOYONAGA SHUJI;ISHIDA AKIRA;UCHIKAWA KIYOSHI |
| 分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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