发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05304218(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920109416 申请日期 1992.04.28
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMURA KENJI
分类号 H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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