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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR FILM THICKNESS MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05302816(A)
申请公布日期
1993.11.16
申请号
JP19920109798
申请日期
1992.04.28
申请人
JASCO CORP;MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NISHIZAWA SEIJI;TAKAHASHI TOKUJI;FUKAZAWA RYOICHI;HATTORI AKIRA
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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