| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND TESTING METHOD OF ELECTRICAL CHARACTERSTIC THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05304193(A) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
JP19920109774 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK |
发明人 |
MAEDA KEIICHI |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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