发明名称 LIGHT FOCUS SPOT COAXIALITY MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05302814(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920102597 申请日期 1992.04.22
申请人 NEC CORP 发明人 OKAWA KATSUHISA
分类号 G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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