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发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05304261(A)
申请公布日期
1993.11.16
申请号
JP19920134301
申请日期
1992.04.27
申请人
SONY CORP
发明人
MIWA HIROYUKI
分类号
H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L27/06
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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