发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05304261(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920134301 申请日期 1992.04.27
申请人 SONY CORP 发明人 MIWA HIROYUKI
分类号 H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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