发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH05304101(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920134232 申请日期 1992.04.27
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 HATTORI SATOSHI
分类号 C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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