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发明名称 CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH05301792(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920106586 申请日期 1992.04.24
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MIYAHARA SHUNJI;FUJIWARA TOSHIYUKI;KUBO TAKAYUKI;FUJIWARA HIDEKI;INAMI SHUICHI
分类号 C30B15/00;C30B15/22;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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