DRY ETCHING SYSTEM,申请号JP19920135880-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号	JPH05304115(A)	申请公布日期	1993.11.16
申请号	JP19920135880	申请日期	1992.04.28
申请人	TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP	发明人	ISHIKAWA YOSHIO;KAWAKAMI SATOSHI;ARAMI JIYUNICHI;HASEGAWA ISAHIRO;SEKINE MAKOTO
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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