发明名称 Automatic tip approach method and apparatus for scanning probe microscope
摘要
申请公布号 US5262643(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 US19920897646 申请日期 1992.06.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 HAMMOND, JAMES M.;KLOS, MARTIN A.;MARTIN, YVES;ROESSLER, KENNETH G.;STOWELL, ROBERT M.
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q30/18;G01Q70/18;G05D3/12;(IPC1-7):H01V37/28 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
地址