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发明名称 ETCHING METHOD FOR INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH05304217(A) 申请公布日期 1993.11.16
申请号 JP19920134507 申请日期 1992.04.28
申请人 NEC CORP 发明人 TONARI SHINICHI
分类号 C04B41/91;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
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